深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

等离子去胶机 135L

  • 产品型号 JL-RR12
  • 产品类别 等离子去胶机
  • 应用范围

    对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。

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对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。

    号

JL-RR12

等离子源系统

    率

13.56MHz  射频

    率

0~1000W可调

 配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝(选配)

腔体内部尺寸

360*800*650(宽*高*深(MM))

腔体容积

135L

处理最大尺寸

12英寸

密封性

军工级焊接密封

真空泵

油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

640*1700*840(宽高深)

   量

280KG

设施配置

   力

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定

压缩空气

干燥压缩空气CDA

     它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单.

质保、售后服

务和技术支持

 

      保

一年免费的维保和备件免费更换

技术支持

接到设备故障通知1个小时内提供远程技术支持,对远程无法定位解决的问题,提供现场维修服务

      训

设备正式试用前,提供完整、免费的技术培训


等离子去胶机 135L应用

对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。

对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。

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