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超声等离子体的自偏置约为0V,什么树脂在锡板上附着力最好射频等离子体的自偏置约为250V,微波等离子体的自偏置很低,只有几十伏特。三种等离子体的形成机理不同。超声波等离子体的反应是物理反应,射频等离子体的反应是物理反应和化学反应,微波等离子体的反应是化学反应。由于超声波清洗对被清洗表面的影响最大,因此在实际的半导体生产和应用中经常采用射频和微波清洗方法。超声波清洗对表面除胶、毛刺等处理效果最好。

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物质由固态变为液态再变为气态的过程,附着力最差喷漆从微观上看,是物质中分子能量逐渐增加的过程。随着能量不断地施加在气体上,气体中分子的运动速度进一步加快,形成由离子、自由电子、激发分子和高能分子碎片组成的新物质的凝聚态。这被称为“等离子态”,即物质的第四态。由于等离子体是高活性、高能物质的集合体,等离子体表面的清洁和活化主要是利用等离子体中的高活性物质、高能粒子和紫外光作用于高分子材料的表面。增加。

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符合要求的蚀刻均匀性是芯片成品率的保证。就等离子清洗机蚀刻的各向异性而言,它直接定义了蚀刻微结构的侧壁轮廓。潜在等离子体损伤(PID)对器件的工作性能有很大影响。对于传统的连续等离子体刻蚀,当器件尺寸减小到14nm节点以下时,实现上述刻蚀目标变得越来越困难。为了应对这些挑战,等离子体清洗机等离子体脉冲刻蚀技术得到了发展,并逐步应用于工业。

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