气压的范围跨度从零点几帕到几十万帕，涂膜附着力测定标准相应粒子密度的变化范围达108数量级。通常气体放电中的带电粒子是电子和各种离子，典型的气体放电的电子密度是1016~1020/m3。气体放电中的正离子和负离子与原来的中性粒子不同，例如在空气放电等离子体中所产生的大量离子，其中包括N+、N、O+、O2、NO-、NO2、O2和O3等.。每一种离子都将影响气体放电的电特性，不过电子的作用通常占主导地位。
大气等离子体清洗机建议选用带流量控制器的特殊气源，涂膜附着力测定标准以提供稳定的工作气体。本装置优点是携带方便、干燥、洁净气源、恒压、恒流量。真空等离子清洗机流量控制器的选择工艺气体流量的稳定性会影响工业真空等离子清洗机的加工效果。大多数工艺对气体流量的控制是非常严格的，所以工业真空等离子清洗机是选择质量流量控制器来实现对工艺气体流量的控制。
表3-2 等离子体发生器能量密度对H2气氛下C2H6反应的影响Ed/(kJ/mol) XC2H6/% YCH4/% YC2H4/% YC2H2/%320 37.6 2.6 3.7 10.6640 45.2 6.1 8.7 21.2860 59.2 7.0 9.2 28.7 0 61.6 7.9 9.6 34.6注：反应条件为C2H6/H2=2。
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