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工件(电子元器件及其半成品、制造过程中的元器件、基板、印刷电路板)的表面通过化学或物理作用等离子处理,没附着力怎么处理使其在分子水平(通常是厚度)变脏或被污染。消除。 3nm到30nm),提高表面活性的过程称为等离子清洗。其机理主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来达到去除物体表面污垢的目的。这通常包括无机气体。

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