匹配设备故障的主要原因是: 1 空气电容损坏原因:空气电容在运行过程中与导电杂质碰撞,进口等离子表面处理仪厂家造成局部短路。转子轴损坏,无法正确调整。 2进口三极管故障原因:与空气电容动轴损坏有关,空气电容不能正常工作,射频输出阻抗不能调节,三极管失效。使用过程中,初始匹配器值没有调整好,匹配时间过长。长腔室或真空室中的辉光放电不稳定也会导致晶体管损坏。通常维护功率匹配器在对等离子清洗机进行日常维护时,应检查电极板。
公司依托自身在等离子表面处理设备制造业十多年的经验以及同国际知名等离子相关配件厂商的良好合作,进口等离子清洗机批发设计开发出BP-880系列真空等离子表面处理设备,产品质量和表面处理效果完全可以替代进口,一举打破了同类产品以前完全依赖美,日,德等国家和台湾地区进口的局面,高品质与高性价比的设备以及高效的售后服务,赢得国内LED及IC封装厂商的一致好评与青睐,目前稳居同行业市场占有率第一。。
等离子清洗设备的反应室主要分为感应耦合“桶式”反应室、电容耦合“平行平板”反应室、“顺流”反应室三种。目前国内集成电路生产企业基本使用进口设备,进口等离子清洗机批发采用第三种模式,其具有均匀的等离子体区、射频电源及匹配网络不受负载影响,不损伤敏感...