通过改变等离子清洗机的等离子特性、腔侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、影响输出结果的侧翘和等离子损伤例如临界尺寸。通过调整等离子体内部和晶圆表面上发生的化学和物理反应过程，横向附着力和横向摩阻力它可以调整对优化蚀刻结果很重要的等离子体特性。电子能量分布 (EED) 和离子能量分布 (IED) 因为电子和离子的能量分布极大地影响离子与晶片表面之间的反应速率。
清洗后，抱死后横向附着力没有有害污染物生态环境保护，这一备受关注的全球环境保护问题日益显示出其重要性。。包装缺陷主要包括铅变形、基偏差、翘曲、切屑破裂、分层、空腔、包装不均、毛刺、异物、不完全固化、铅条变形铅条变形通常是指铅条因塑料密封胶的流动而产生的位移或变形，通常用铅条的最大横向位移x与长度L的比值x/L表示。引线弯曲会导致电气短路(特别是在高密度I/O设备封装中)。
由于正负极是交错的，横向附着力和横向摩阻力因此，在同一帧内，正负极之间的横向距离会减小，这样在相同宽度的帧内，就可以安装更多的正负极，提高等离子体产生效率，进而提高空气净化效果。主要要求:1。
所以罗茨真空泵是在转子同步、反向旋转的推动和压力作用下，横向附着力最大从进气处吸入空气，进入转子与泵壳之间的空间，然后通过排气管排出，从而达到真空。真空等离子清洗设备罗茨真空泵的分类:根据放置在泵体内的两个转子的位置，将泵分为三大类:两根真空泵的转子的轴线是横向排列,但飞机由两个转子的轴线垂直于水平面,水平根真空泵:两根真空泵的转子的轴线是横向排列,两转子和轴横向排列。
