设备主机

主机尺寸

1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高

重量

2550Kg

安装面积

3500mm X 5500mm(含开门上下板位置)

电极

电极分布

垂直分布，每片电极独立冷却

电极数量

16片

RF 电源系统

品牌/型号

AE 10KW

功率@频率

10KW @ 40KHZ

工艺气体流量控制系统

流量控制器

parker气体流量控制器

标准配置4路气体

一路2000sccms,三路5000sccms

软件控制系统

人机界面+PLC

真空泵系统

真空泵组

抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可选）

真空工作力

进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下，工作压力可控范围180-300mTorr

生产能力

生产板最大尺寸

25X44 inch （21*24 inch 30块/炉）

标准生产板厚度

0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具）

生产板最小尺寸

4 X 4inch