| 型号 | JL-RAM1500 | ||
| 等离子源系统 | 等离子发生器 | 射频频率：13.56MHZ；功率1500W可调 | |
| 真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石英 |
| 腔体容积 | 4L（可定制） | ||
| 腔体旋转速度 | 0-10r/min，转速连续可调 | ||
| 泵 | 真空泵 | 抽气速率：4L/S | |
| 真空测量 | PG800 数显真空规 | ||
| 气路控制 | 浮子流量计，标配2路（可定制），气体流量可调， | ||
| 真空度量程 | 0.01pa-10kpa | ||
| 电控系统 | 人机工控系统 | 自动+手动触控式全中文界面 | |
| PLC+触摸屏 | 西门子+昆仑通态 | ||
| 开关电源 | 台湾明纬 | ||
| 变频控制系统 | 根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定 | ||
| 软件程序 |
自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式 配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控 |
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| 报警功能 |
真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警 （蜂鸣器报警+显示屏提示） |
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| 进气系统 | 气体控制系统 | 电磁阀 | |
| 气压监测系统 | 减压阀、压力报警表 | ||
| 进气管路组件 | Φ8mm软管+不锈钢套管路 | ||
| 泄压系统 | 破真空组件 | 挡板阀+节流阀+消音器 | |
| 整机参数 | 额定总功率 | 4KW | |
