目前等离子清洗按形式分二大类：

①，真空等离子清洗

真空等离子清洗是在一个密闭的真空腔内，加注不同种类的气体，使气压保持在10~100Pa，激发等离子体.对产品表面进行清洗，材料改性及微蚀刻。

②，大气等离子清洗,也叫常压等离子清洗，射流等离子清洗。

大气等离子清洗，是在自然环境下，激发等离子体，使用压缩空气使等离子体按气流方向经喷嘴喷射出来，从而对产品表面进行微蚀刻，提升表面张力。

按频率分三大类：

1，频率在KHZ的中频等离子，频率在MHZ的射频等离子，频率在GHZ的微波等离子