深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

真空等离子清洗机 150L

  • 产品型号 JL-VM150
  • 产品类别 真空等离子清洗机
  • 应用范围

    对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。


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对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。

型号

JL-VM150

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

40KHz  中频

功  率

0~1000W可调

0-5000W可调

             选 配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

500*600*500(宽*高*深)

腔体容积

150L

极板

17层,水平式,活动可调节

密封性

军工级焊接密封

泵组

油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

<±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(宽*高*深)

重  量

700KG

设施配置

电  力

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定

压缩空气

干燥压缩空气CDA

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单.


真空等离子清洗机 150L应用

对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。


对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。


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