全氟醚橡胶O型密封圈真空等离子处理

发布时间：2025-12-24 16:37:50 浏览数：2

今天要处理的这批全氟醚橡胶O型密封圈，样品源自华南地区一家专注生产高性能密封件的龙头企业。客户反馈其在半导体湿法刻蚀设备中，需要更稳定的界面性能以抵抗化学药液渗透。

先看处理前状态：进行滴水测试，水滴滴落后在密封圈表面聚拢不散，呈现圆滚的水珠状；挂水测试中，密封圈浸水后提起，表面挂着多个大小不一、分散的水珠。这表明其表面呈现极强的疏水性，可能导致工艺中化学药液微渗或界面稳定性不足。现在将这批全氟醚橡胶O型密封圈放入真空等离子清洗机。

在真空环境下，等离子体产生的高活性粒子（如氧离子、自由基）会均匀作用于密封圈表面，通过物理刻蚀和化学反应，有效去除有机污染物，并在其惰性表面引入羟基、羧基等亲水性官能团，针对性提升其表面能和水润湿性。

看处理后的效果！滴水测试显示，水滴接触表面后迅速扩散铺展；挂水测试中，密封圈提起后表面仅悬挂着一个连续的大水珠。经过真空等离子清洗机处理，全氟醚橡胶O型密封圈的表面亲水性得到显著优化，这有助于在苛刻工况下形成更稳定的密封界面，减少因药液微渗导致的设备异常，提升工艺稳定性。