独立式电晕设备又称离线式、单体式、批量式电晕清洗设备，自动水浴电晕机的特点主要包括电晕产生系统、排气系统、温度控制系统、气路控制系统、冷却系统、电气控制系统、真空产生系统和钣金零件等。在线电晕设备又称连续不间断电晕清洗设备。在线电晕清洗设备是在独立式的基础上设计的，在满足产品加工均匀性和一致性的同时，提高了自动化程度，减少了人工参与的需要。
2）系统控制单元：分为三种，电晕机的作用和用途按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。2.真空腔体：真空腔体主要分为两种材料：1）不锈钢真空室。2）石英腔。三。真空泵：真空泵分为两种：1）干燥泵。2）油泵。大气电晕的结构主要分为主机（射频电源）和喷嘴两大部件。喷嘴分为直接射流式和旋转射流式常压电晕因其独特的喷嘴+主机形式，可根据用户需求配置最优流水线生产方案，大大提高了生产效率。
简单来说，自动水浴电晕机的特点自动清洗台同时清洗多片晶圆，优点是设备成熟，生产率高，而单片晶圆清洗设备逐片清洗，优点是清洗精度高，可有效清洗背面、斜面和边缘，避免晶圆间交叉污染。45nm之前，自动清洁台可满足清洁要求，目前仍在使用；而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在未来工艺节点减少的情况下，单片晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。
电晕一般有以下用途：1.电晕发生器可作为热源；2.电晕发生器可用作化学催化剂；3.电晕发生器可作为高能离子流和电子流的源；4.电晕发生器可以作为溅射粒子源；在许多工艺中，自动水浴电晕机的特点电晕发生器的这些基本特性随处可见，逐渐形成了以电晕为加工手段的基础制造业。单一工艺或几种工艺的组合可以赋予电晕不同的用途。
自动水浴电晕机的特点
对于一些有特殊用途的材料，电晕的辉光放电不仅加强了这些材料的附着力、相容性和润湿性，还能对其进行消毒杀菌。电晕广泛应用于光学、光电子、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体等领域。
该区域发生放电后，离子轨迹消失，或沿某一方向迁移到其他区域，这些区域随之带电。当发光球内部有足够的电流时，离子轨迹将一直存在。。电晕在现代工业中的主要用途电晕技术应用广泛，可利用电晕产生的高温高速射流，也可用于焊接、堆焊、喷涂、切割、加热切割等机械加工；同时，还可以进行活性粒子和辐射，促进一些化学反应；再冶金也应用于·；；1.需要粘接前清洗以改变表面张力。
在表面处理中，许多半导体材料在加工过程中需要进行清洗和蚀刻，以保证产品质量。因此，在半导体行业中，电晕刻蚀机技术、半导体真空电晕清洗的应用越来越受到重视。电晕清洗是半导体封装制造业常用的化学性质。这也是电晕清洗有一个比较突出的特点，可以促进晶粒和焊盘电导率的增加。焊料润湿性，金属丝点焊强度，塑壳涂层安全性。广泛应用于半导体元件、电子光学系统、晶体材料等集成电路芯片。
要根据要求选择合适的官能团，还需要选择合适的技术将这些官能团引入到表面，对于现有的许多材料来说，电晕聚合以及电晕聚合与接枝的结合是一种非常有效和经济的表面改性技术，在生物技术和工程领域得到了越来越多的关注和兴趣。该技术的特点是可以通过选择性地改变表面的官能团来改变表面性质，从而达到所需的表面性质。。
电晕机的作用和用途
在上述领域的生产过程中，电晕机的作用和用途会遇到弱结合等问题，只有电晕的进步才能实现。电晕具有工艺简单、节能、节材、减少材料需求等特点。它通过电晕轰击物体表面实现PBC去污。利用电晕蚀刻系统去除孔内的灰尘和腐蚀，以去除孔内绝缘，最终提高产品质量。。电晕处理技术制备的变性淀粉有何应用？变性淀粉一般是指通过物理、化学或酶法二次加工得到的淀粉。低温电晕处理是一种新型的非热加工技术，可用于食品加工。
