等离子清洗机能清洗什么?
等离子清洗是一种很微观层面的清洁,清洗是在微米纳米级别,用肉眼是看不出来经过等离子清洗和没有经过等离子清洗的产品有什么差别。
等离子清洗机的清洗方式主要有两种,一种是靠化学反应清洗,另一种是靠物理溅射清洗。
等离子清洗工艺是直接把高能等离子体流施加到被清洗表面以达到等离子体清洗的目的。选择不同的气体种类和配比,可以满足很多等离子体清洗的要求。例如:用氧气等离子体可以使有机物沉积被氧化掉;用惰性的氩气等离子体可以使颗粒污染被机械地冲洗掉,用氢气等离子体可以消除金属表面氧化,等等。
等离子清洗机清洗的一些具体应用
应用等离子体清洗金属、陶瓷和塑料表面的有机物,可以大大增强了这些材料表面的附着力和键合力。随着对这门技术的研究的不断深人,其应用已越来越广泛。在电子领域,可用此技术做混合电路、PCB板、SMT、BGA、导线框和平板显示器的清洗和刻蚀;在医疗领域也要应用此种技术来改善各种导管、超细导管、过滤器、传感器等医疗设置的光滑度、沾湿性等关键指标。
等离子清洗机的常见应用
在大规模集成电路和分立器件行业中,等离子清洗一般应用于以下几个关键步骤中:
1、去胶,用氧的等离子体对硅片进行处理,去除光刻胶;
2、金属化前器件衬底的等离子体清洗;
3、混合电路粘片前的等离子体清洗;
4、键合前的等离子体清洗;
5、金属化陶瓷管封帽前的等离子体清洗。