1-1 旋片式真空泵旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵，环氧树脂好还是附着力好其主要的部件有泵体、转子、旋片、端盖、绷簧等。旋片式真空泵有单级和双级两种，等离子清洗机常用的是双级旋片式真空泵，所谓双级旋片式真空泵便是在结构大将两个单级泵串联起来。旋片式真空泵的泵腔内偏心地装有一个转子，而转子的外圆与泵腔的内外表相切，一起转子槽内装有两个带绷簧的旋片。
2）激活键能，环氧树脂附着力和结构交联作用等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
例如，环氧树脂附着力和结构在高频电场中处于低压状态的氧、氮、甲烷、水蒸气等汽体分子结构在等离子体蚀刻机中。在辉光放电的情况下，可以分解出加速运动的原子和分子结构，生的电子器件和分离点有正负电荷的原子和分子结构。这样形成的电子器件在电场加速时获得高能量，与周围的分子和原子发生冲突，在分子和原子中形成电子器件，自身处于激发状态和离子状态，物质存在的状态是等离子体状态。等离子体刻蚀机是通过人工方式获得的。
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在等离子体中，甲烷脱氢产生的C2H6和C2H4与高能电子相互作用形成C2H5和C2H3等自由基，因此甲烷脱氢反应主要产生以下微量C3，由此可以推断产生了C4产物。
40kHz的自偏置约为0V, 13.56mhz的自偏置约为250V, 20MHz的自偏置更低。这三种激励频率具有不同的机制。40kHz的反应是物理反应，13.56mhz的反应是物理反应和化学反应。20MHz有物理反应，但更重要的反应是化学反应。对于需要活化修饰的材料，40kHz的自偏置约为0V, 13.56mhz的自偏置约为250V, 20MHz的自偏置更低。三种激励频率具有不同的机制。
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原子团等自由基与物体表面的反应 由于这些自由基呈电中性，存在寿命较长，而且在等离子体中的数量多于离子，因此自由基在等离子体中发挥着重要的作用。
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