因为每种类型的气体原子分子物理学中有自己的能级结构,所以高能电子可以激发气体的不同层面,当气体分子和原子从高到低水平辐射何时返回不同的能量光子,光子能量代表着不同的波长,通过对光谱的分析，聚氨酯对木材的附着力可以对等离子体刻蚀过程进行有效的分析。这种诊断过程经常用于半导体制造中对电火花的监测。图2等离子体中的激励爆震和光谱辐射电容耦合等离子体源的典型腔体结构如下图所示。功率以13.56MHZ的一般频率加载到上、下电极。
等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等,可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。
2、等离子发生器同时产生大量的负离子及正离子，聚氨酯对pp的附着力由于负离子的数量远远大于正离子的数量，所以正离子产生后马上会被负离子中和，故空气中不可能会存在大量的正离子，正离子与负离子本身是空气成份中的一部分，故适量的正离子对人体没有副作用，因此等离子发生器在对空气进行净化杀菌的同时允许在有人的空间里进行，对人体无副用。。
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2) 蒸发。即固体表面接受来自等离子体的能量而熔化、蒸发。3) 溅射。当离子或中性粒子入射到表面时，它的一部分能量传给少数靶原子，其中有些在点阵达到热平衡之前发射出去，这就是溅射。溅射是阈值性的，即当入射粒子的能量大于某一阈值（通常为5～50eV）时,才出现溅射。4) 化学溅射。发生在等离子体装置表面的化学过程。主要是由于表面催化作用引起的。当粒子入射到表面后，在表面进行化学反应生成挥发性产物而释放。
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