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等离子体发生器改造有很多优点:1.等离子体发生器激活高能化学反应时,反应体系位于低温下;2.反应只涉及材料浅表面,不损伤材料基体;3.属于干法工艺,节水节能,降低成本,无污染;4.等离子体发生器反应时间短、效率高,可实现传统化学反应无法实现的反应;5.等离子体发生器可以处理形状复杂的材料,表面处理均匀性好。
等离子体清洗形成的微观粗化表面是原子或分子级的。从宏观上看, 基片表面去除水汽、污物后, 更加平整和均匀。沉积上ITO膜后, 可获得更加均匀一致的可见光透射比和电导率。
这两个转子安装在一对平行轴上,两个转子相互垂直。单传动传动比执行彼此相反的同步旋转运动。转子之间以及转子与泵壳内壁之间保持恒定的间隙,以实现高速运转。因此,罗茨真空泵依靠这种对转子同步和反向旋转的压力作用,将气体从进气口吸入,进入转子与泵壳之间的空间,从排气管排出。 撤离。真空等离子清洗设备的罗茨真空泵分类: 泵根据两个转子在泵体内的位置分为三类。立式罗茨真空泵:放置罗茨真空泵的两个转子轴。
等离子表面处理设备中的等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特,大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特),完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能放射性射线,只涉及材料表层,不影响基体的性能。
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