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反应等离子体气体主要有02、H2、NH3、CO2、H20、S02、HVH20、空气、甘油蒸汽和乙醇蒸汽。在等离子体的作用下,FPCplasma表面清洗耐火塑料表面出现了一些活性原子、自由基和不饱和键。这些活性基团将与等离子体中的活性粒子发生反应,形成新的活性基团。而带有活性基团的物质会受到氧的作用或分子链段运动的影响,使表面活性基团消失。单板(FPC/PCB)出厂前使用真空等离子表面清洗机进行表面清洗。

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