等离子表面处理设备电源开关 等离子诱导聚合是指在辉光放电条件下，硬单体附着力好的好单体由活化的粒子（分子）引发的聚合，其明显产生自由基并与分子链等单体结合。发生侧链、官能团取代、嵌段聚合等。使用等离子体诱导聚合形成聚合物单体必须含有双键、三键、环键等聚合能结构。等离子体状态聚合 (PSP) 是通过等离子体活化粒子的再聚合在表面层上沉积的过程。这种聚合是在等离子体中发生的原子的过程。。
(b)等离子体聚合，ITO单体附着力将材料暴露于可聚合气体（有机气体，现在称为单体）等离子体中，并在表面沉积一层聚合物。镀层一般很薄（通常几十到几百米），高度交联，无针孔，非脆性，对热和化学作用稳定，对基体有一定的附着力。(O)等离子体接枝聚合，首先对高分子材料表面进行等离子体处理，利用表面产生的活性自由基在材料表面接枝功能单体。由于接枝层与表面分子共价结合，可获得优异的改性效果。
将该技术应用于微电子技术领域，单体附着力可大大减小电子元件连接电路的体积小，运行可靠性明显提高2.2表面聚合在低温等离子体作用下，大多数有机气体在固体表面聚合沉积，形成连续、均匀、无针孔的超薄膜，可作为材料的保护层、绝缘层、气液分离膜和激光导光膜等，应用于光学、电子、医学等诸多领域；聚甲基丙烯酸甲酯或聚碳酸酯塑料可制成廉价易加工的光学镜片，但其表面硬度过低，使用有机氟或有机硅单体易产生划痕，采用低温等离子体聚合技术在镜片表面沉积10nm薄层，可提高其抗划痕性和反射指数[6]国外也有报道将等离子体化学气相沉积技术应用于塑料窗玻璃汽车百叶窗和霓虹卤素天灯的反光镜等离子体聚合膜具有多种性能，在金属和塑料上涂覆类金刚石耐磨涂层的化学气相沉积技术是将含碳气体引入等离子体中，涂层耐化学、无针孔、不透水，并能防止各种化学物质对基体的侵蚀。
