请记住，mgo表面改性处理效果好磁隧道结的形状不仅会影响设备的性能，还会影响等离子清洁器的蚀刻过程。例如，蚀刻圆柱形或环形图案相对容易。报道的磁性隧道结所用材料含有Fe、Co、Ni、Pt、Ir、Mn、Mg等金属元素，通常为1nm左右的单层材料，由5～10层构成。 （合金或金属氧化物）。因此，磁记忆等离子清洗机等离子刻蚀面临的挑战是： (1) 常规反应等离子体（RIE）面临金属蚀刻副产物不挥发的问题。
（2）真空泄漏试验。在手动检漏状态下，mgo表面改性处理效果好开启真空泵10min，记录下较低的真空值，然后手动关闭真空电磁阀，同时开启检漏按钮，数值为每分钟3.2Pa/min≤6.0Pa/min，为合格。（3）咬蚀试验:7～14mg/min合格。（4）均匀性试验：75%以上为合格。（5）运行测试：运行24小时，无一例外。。
机器尺寸:11英寸H×18英寸W×9英寸DIn除了两个传统的等离子清洗机，MgO表面改性PDC 32G-2基地和PDC 002扩展，我们还提供以下配件选项:PDC -fmg-2 PlasmaFlo空气混合器(230 VOLTS) PDC -vp-2真空泵230V豪华版(包括管，管夹，进口适配器，PDC- vp-油高级真空泵OILPdc-vpe-2基础真空泵230V(含管和管卡)PDC -vpe-油基础真空泵OILPdc-32t石英样片(适用于PDC- 32g -2基础型等离子清洗机)PDCPyrex Chamber (for PDC-002 extended Atmospheric plasma cleaner)Pyrex Chamber (for PDC-32G-2 extended Vacu...
