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近20年的半导体和光电材料高速等离子清洗机的研发、促进和未来应用取得了比较成功的经验。目前,ap2000附着力促进剂可以生成等离子体和材料表面有两种主要类型的反应。一种是自由基的化学反应,另一种是等离子体的物理反应。这在下面详细解释。 (1) 化学反应(化学反应)化学反应中常用的气体包括氢气 (H2)、氧气 (O2) 和甲烷 (CF4)。这些气体在等离子体中反应形成高活性自由基。方程是:这些自由基进一步与材料表面反应。

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