, 温度是粒子运动的量度。温度越高，eva对蜡附着力粒子的均匀动能越大，反之亦然。等离子体通常直接使用粒子的均匀能量来表征温度。当电子（电荷为 1.6 x 10-19 库仑）通过电场中 1 伏的电势差时获得能量。根据来自电场的电子，W=1EV，1EV=1.6×10-19库仑×1伏=1.6022×10-19焦耳，1EV对应的温度为11600K（开尔文；开尔文）。
氩和氦性质稳定，EVA对PVC有附着力吗且放电电压低(氩原子电离能E 15.57 eV)容易形成亚稳态原子，一方面，等离子体表面处理机利用高能粒子物理功能清洗被氧化或还原的物体，Ar +轰击污垢通过真空泵带走形成挥发性污染物，避免了材料的表面反应;另一方面，氩容易形成亚稳态原子，与氧、氢分子碰撞时发生电荷转换和重组，形成氧、氢活性原子作用于物体表面。
2、plasma设备中的等离子体高能量生成的等离子体中的粒子能量可达到0~20eV，eva对蜡附着力而聚合物中的大部分键能量为0~10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，硅胶表面原有的化学键可以断裂。等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，大大（激）活了表面活性，有助于产品粘接、保护层涂层等过程的进行。
对于电子回旋共振等离子体和直流等离子体，eva对蜡附着力中性粒子束是由正离子的电荷转移形成的，中和效率不高(约60%)，但粒子束能量很高(>EV)。这种低中和通量和高能粒子，导致蚀刻时蚀刻率和选择性低，因此不适合蚀刻工艺，与前两种方式不同，等离子体表面处理机采用感应耦合等离子体方式平行碳板，中性粒子束是由阴离子分离电子形成的。等离子体脉冲技术在断电阶段会产生大量的负离子并传输通过平行的碳板，电子被分离形成中性束。
