在对液晶玻璃进行的等离子清洗中，氧等离子体处理增加羟基使用的活化气体是氧的等离子体，它能除去油性污垢和有机污染物粒子，因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。通过洗净工艺后的电极端子与显示器，增强了偏光板粘贴的成品率，并且电极端与导电膜间的粘附性也大大改善，从而改善了产品的质量及其稳定性。
导尿管表面接触角，氧等离子体处理增加羟基未处理为84°，经氧等离子体处理后为67°，经处理后接触角降低了17°，这说明导尿管的亲水性得到了较好的改善。导尿管表面经氧等离子体处理后，发生了蚀刻作用，使表面清洁，有少量亲水基团产生，因而提高了其亲水性能，从而降低了接触角。 氧等离子体处理后，导尿管表面的毛刺被钝化，粗大的粒子变小，从而表面变得光滑。这与表面接触角的测定结果是一致的。
AlGaN表面未进行plasma清洗设备氧等离子体处理的样品A和经过氧等离子体处理的样品B，氧等离子体处理增加羟基对比可知，未进行氧等离子体处理的样品A在Vgs=2V, Vds=10V时的饱和电流约为0.0687A/mm=68.7mA/mm,经过氧等离子体处理后的样品B在Vgs=2V, Vds=10V时的饱和电流上升为0.0747A/mm=74.7mA/mm。
对导尿管表面的硅处理，氧等离子体处理eva膜需采用有机溶剂，从而对环境造成污染，而氧等离子体法所采用的材料是氧气或空气，对环境无任何污染，是一种环保型的新的表面处理方法。样品处理前后，这些主要基团的红外吸收无明显差异。等离子体中具有的活性粒子，其能量一般为几个至十几个eV，而橡胶材料分子中的化学键能大部分在3~6eV。
