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DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE (DBD) 介质阻挡放电 (DBD) 是一种在放电空间中插入绝缘介质的非平衡气体放电,iso附着力也称为介质阻挡电晕放电或无声放电。介质阻挡放电在高压和宽频率范围内工作,正常工作压力为104-106。电源频率可以从50HZ到1MHZ。电极结构有多种设计形式。在两个放电电极之间填充特定的工作气体,并用绝缘介质覆盖一个或两个电极。

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例如,ISO附着力的规范日本与关西电力公司联合研制的直流±500kV气体绝缘开关柜(gas-insulated switchgear,GIS)在安南变电站以±250kV的电压长期运行。 ABB使用在AC550kV和800kVGIS组件基础上开发的DCGIS。 ,其长期工作电压为±500kV。通过更高的绝缘裕度来保证直流气体绝缘设备的安全运行,不仅设备体积增大,而且经济效益低,并不会导致直流GIL的大规模推广。嗯。

Krishnan等发现将ICP金属蚀刻反应腔室高度从8cm减少到5cm,iso附着力晶圆表面电场强度显著增强。等离子体密度的增加导致电荷充电,引起了严重的器件损伤。 (2)等离子体局部不均匀性。在均匀等离子体中,离子和电子电流在一个RF周期中局 部平衡,此时栅氧化层电势很小,但在非均匀等离子体中,局部范围内的电势不均衡会在晶圆表面产生电流路径,从而引起栅氧化层损伤。

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