接触孔技术工艺集成发展过程中的两个关键里程碑是之前的 COSI（钴）为 65NM 技术节点使用 NISI（镍金属硅化物）来降低接触电阻和信号金属硅化物）开始被用作接触金属。 延迟并使用来自 45NM 技术节点的高应力硅硅材料来提高器件性能并用作接触蚀刻停止层（CONTACT ETCH STOP LAYER，opp油墨附着力增进剂CESL）。
从微观上分析，硅胶油墨附着力增进剂介质在密闭空间里通过强壮电弧的作用，使空气电离发生等离子体，激发出大量的高能电子，高能电子炮击废物废弃物，大分子量的废物废弃物发生杂乱的反应，然后降解成小分子量的H2、CH4和对人体危害较小的物质。2、等离子体废物处理工艺等离子废物处理体系首要包含进料体系、等离子体燃烧处理体系、熔化产品处理体系，烟气处理体系、余热利用体系、冷却密封体系组成。
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