1、硅片表面改性（硅片表面改性机械性能）OTS作硅片表面改性 常用的清洗技术有湿法清洗和干洗两大类，硅片表面改性机械性能湿法清洗仍是行业的主流，占清洗步骤的90%以上。湿法工艺是指用耐腐蚀和氧化性的化学溶剂对缺陷进行喷射、擦洗、蚀刻等随机处理，并将杂质溶解在晶圆表面与反应溶剂直接生成可溶性物质、气体或损耗，并使用超纯水清洗硅表面并干燥，满足硅片的洁净度要求。为...
2、arcotec电晕机（德国arcotec电晕处理器） 采用交流时，arcotec电晕机只能选择电信规定的科研和工业使用频段(MF)40kHz、高频(HF)13.56MHz、微波频率(MW)2.45CHz，否则会干扰无线带电信件。一般是等离子体的产生和材料的位置。合理的效果（结果）与以下几个方面有关。等离子体清洗一般采用工艺气体，活（化）气可分为两类。类...
3、电晕处理的otr（山西低温等离子电晕处理机说明书） DielectricBarrierDirection（dielectricBarrierDirection）（简称DBD）是指在两个金属电极之间放置绝缘介质，电晕处理的otr阻隔跨越板间气隙的放电通道，使气隙通道中的放电得以放电电不产生电弧，而是以灯丝放电的形式存在，等离子体低温等离子体弥散在其中，...
