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主要过程包括:首先,工件清洗到真空室固定,启动真空泵和其他设备开始大约10 pa真空度的真空排气;然后介绍等离子体清洗气体进入真空室(根据不同的清洗材料,气体是不同的,如氧、氢、氩、氮、等),在真空室中,塑胶附着力怎么调在电极与接地装置之间施加高频电压,将气体击穿并通过辉光放电使其电离,产生等离子体。真空室中产生的等离子体覆盖待清洗工件后,清洗操作开始,清洗过程从几十秒到几分钟不等。

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这是因为等离子体中的高能粒子在高功率下显着增加,聚醚树脂对塑胶附着力加强了对材料表面的冲击并激活了部分材料。表面基团是非活性的,从而减少了反应性基团的引入。如果放电电压大于 10 Pa 小于 50 Pa,压力对接触角没有明显影响。但是,如果压力超过50Pa,接触角就会增加。认为这是因为高压使气体难以完全电离,从而影响了PT。FE 表面变化。

等离子清洗机特别用于半导体封装与组装,pa塑胶附着力促进剂等离子体处理解决方案(ASPA),晶圆级封装(WLP)以及微机械(MEMS)组件。等离子清洗机的活化处理的应用包括改善清洁,引线连接,除渣,包块粘连,活化和蚀刻。。

2. 影响清洗效果的主要因素 2.1 电极影响等离子清洗的效果 电极的设计主要影响等离子清洗的效果,聚醚树脂对塑胶附着力如电极的材料、布局和尺寸等。对于内部电极等离子清洗系统,由于电极暴露在等离子中,一些材料的电极会被一些等离子蚀刻或溅射,造成不必要的污染,从而导致电极尺寸的变化,以及电极尺寸的影响。等离子清洗系统。稳定。电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有显着影响。

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