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上海rtr型真空等离子设备

在简单情况下的等离子体相对于绝缘的器壁的电势要高约几倍的Te/e值,上海rtr型真空等离子体设备定制如下图所示。事实上不单是浮置基板,与等离子体交界的一切绝缘体,均会保持一定的浮置电位,其近旁也会形成离子鞘。结果,浮置电位相对于等离子体往往是负的;或者说等离子体电位相对于任何与之接触的绝缘体往往是正的。等离子清洗机电极...

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