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等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性,二氧化硅亲水性辅料很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物,从而去除表面污染物。...基于物理反应的等离子清洗,也称为溅射刻蚀(SPE)或离子铣削(IM),其优点是不发生化学反应,清洗表面无氧化物残留,可保留待清洗物体。化学纯度和等离子清洗是表面反应物理和化学反应均在该机理中起重要作用。即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀。两种洗涤可以相互促进。

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