在直流电压的作用下，附着作用和附着力正负电晕均在尖端电极附近积聚空间电荷。在负电晕中，当电子引起碰撞电离时，它们被驱离尖端电极并形成负离子，而正离子积聚在电极表面附近。随着电场继续增强，正离子被吸引到电极和脉冲电晕电流出现，而负离子扩散到间隙空间。然后重复电离和带电粒子的过程。这种循环使许多电晕电流脉冲出现。电晕放电可以在大气压下工作，但需要足够高的电压来增加电晕处的电场。
优点 1、等离子清洗后，附着作用和附着力被清洗物干燥，无需进一步干燥即可送入下道工序。可以提高整个工艺线的加工效率。 2.等离子清洗使用户远离人体中的有害溶剂。第三，该清洗方式避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，防止清洗后有害污染物的产生，是一种环保的绿色清洗方式。随着世界对环境保护的极大兴趣，这一点变得越来越重要。第四，无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。
当硅电极厚度降低到一定程度时，附着作用和附着力需要更换新的硅电极。因此，硅电极是晶圆蚀刻工艺的核心耗材。随着半导体产业的发展，芯片的线宽不断缩小，硅芯片的规模不断扩大。芯片线宽由130nm、90nm、65nm逐渐发展到45nm、28nm、14NM，达到了7nm先进制造工艺的技术水平，同时硅片已经从4英寸、6英寸、8英寸发展到12英寸，未来将突破到18英寸。
等离子清洗机的关键是低温等离子体的应用，附着作用和附着力它主要依赖于高温、高频、高能等外界条件产生，是一种电中性、高能量、全部或部分离子化的气态物质。低温等离子体的能量约为几十电子伏特，其中所包含的离子、电子、自由基等活性粒子以及紫外线等辐射线很容易与固体表面的污染物分子发生反应而使其脱离，进而可起到清洗的作用。同时由于低温等离子体的能量远低于高能射线，因此此技术只涉及材料表面...
