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刻蚀二氧化硅的方法

同时,等离子体刻蚀二氧化硅由于绝缘材料的存在,放电过程中形成的壁电荷有效地限制了放电电流的无限增长,避免了高压下的电弧和火花放电。等离子体发生器的惰性气体形成的 DBD 等离子体不含反应性粒子。因此,稀有气体DBD用于材料表面改性时,表面基团的引入主要是通过等离子体在材料表面形成的聚合物自由基,并将材料的等离子体作用置于空气中。 .由键形成。

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