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刻蚀气体有哪些

由于高分子材料本身的疏水性,co2作为等离子刻蚀气体时参与反应吗血液过滤器的内壁和滤芯需要对等离子蚀刻机进行抗凝处理,以提高其过滤能力、亲水性和使用寿命。。等离子刻蚀机对超光滑基板的等离子表面处理研究:等离子处理可以通过溅射去除处理后的转变层,降低表面粗糙度,提高基板的表面清洁度和表面能。蚀刻等离子处理的基板比未经等离子处理的基板平均低 34.2 ppm,显示出良好的一致性。。等离子刻蚀清洗机 ICP刻蚀技术广泛应用于SiC刻蚀应用。

等离子刻蚀清洗机

等离子刻蚀清洗机ICP刻蚀技术广泛应用于SiC的刻蚀应用:反应烧结碳化硅(RB-SiC)作为一种新型的陶瓷材料具有高的强度、比刚度、大热导率和小膨胀系数等特点.随着光学技术的快速发展光学系统朝着大口径、低损耗和轻量化的方向发展要求光学元件具有高分辨率、广视场以及高质量的表面形貌。。

控制图形外观的更详细研究来自 2012 年的报告。从模拟结果来看,等离子刻蚀清洗机深槽或深孔的形态与等离子吸附率和等离子刻蚀清洗机的吸附规律有关,是否有二次吸附或多次吸附直接影响顶部的形状。 .等离子体吸附的差异对深孔和深槽开口附近的形状影响很大,表面模拟与实验的实际结果吻合较好,说明模拟结果具有较高的可靠性。...根本原因是深孔中不同的等离子体吸附位置不同,刻蚀分为两个不同的阶段。

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