等离子体中存在以下物质：高速运动的电子，lds化镀附着力差的问题处于激发态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离的原子、分子、分子解离反应产生的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体仍然是电中性的。等离子体清洗的机理主要取决于&ldquo；激活&rdquo；达到去除物体表面污渍的目的。
下图列出了负载阻抗为z的高频环路。设电源的内部阻抗，lds化镀附着力差的问题即输出阻抗为(a+jb)为了满足负载上的大Z功率输出，高频发电机的负载阻抗和输出阻抗&ldquo；共轭匹配；.共轭匹配使总阻抗为纯电阻，即负载阻抗Z必须为(a-jb)&ω.一个典型的高频匹配网络如下图所示。
请注意有三个关键词:&ldquo；低压真空环境；，lds化镀附着力差&ldquo；工艺气体&rdquo；和&ldquo；清洁材料表面&rdquo；从这三个方面来谈谈低压真空等离子清洗机的缺点。1低压真空等离子清洗机必须抽真空并保持一定的真空度在低压下，随着真空度的增加，气体分子之间的距离增大，更容易被电离；保持一定的真空度有利于等离子体的浓度和密度。
因电离现象而带有电荷离子的气体便称为“等离子(PLASMA)”。因此通常将等离子归类为自然界中的“固体”、“液体”、“气体”等物态以外的“第四态”。
