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南京快速等离子发生器

在半导体器件的制造过程中,快速等离子体云几乎所有的工序都需要清洗,而晶圆的清洗质量对器件的性能影响很大。晶圆清洗是半导体制造过程中重要的高频工艺,考虑到工艺质量直接影响设备的产量、性能和可靠性,国内外各大公司和科研机构都进行了大量研究。我去了。关于清洁过程。等离子表面处理机是一种先进的干洗技术,具有绿色环保的特点,随着微电子产业的快速发展,等离子表面处理机在半导体行业的应用也越来越广泛。

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