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还有一种等离子清洗机是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，表面附着力检查国标即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应；其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性，又有较好的方向性。 典型的等离子体物理清洗工艺是氩气等离子体清洗。
在等离子体中,粒子的温度是不同的,与温度相关的粒子运动速度的运动质量,现有的等离子体与钛离子温度,电子温度的Te说,和中性粒子,如原子、分子或原子与Tn的温度,对于Te大大高于Ti和Tn,也就是说,在低压气体,气体的压强是只有几百帕斯卡,当使用直流电压或高频电压电场,由于电子本身的质量量很小,容易加速电池,这样高的平均可以达到几个电子伏特能量,电子,这种能量的相应温度是成千上万度(K),和弟子由于大质量,很难被电场加速,所以温度只有几千度。
原子印油在橡胶表面附着力
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