本文主要介绍等离子清洗机的操作流程及操作注意事项，方便大家在使用过程中，合理正确的使用设备，避免一些错误操作。
等离子清洗机也被称为等离子表面处理仪，是一种比较新颖的技术，它利用等离子体来清洁，可以达到常规清洗无法企及的水平。与激光清洗的直射光线不同，等离子体的方向性不强，这使得它可以深入表面的细微孔洞和凹陷的内部。高精度的时间和功率控制，不会使基片表面产生损伤，表面质量得到保证。具有去除能力极强，非接触式清洗，操作简便，无二次污染的强大优势。
它的工作原理是在真空条件下对充入的气体等离子化，利用产生的高速运动的离子、电子、自由基和活性基团等活性成分处理材料表面，实现清洁效果，同时能够提高材料表面润湿特性，改善表面黏着力，改善材料的表面特性。
等离子清洗机操作流程如下：
（1）接通电源，打开开关，按照说明书要求进行操作。首先检查等离子清洗机连接的氮气瓶和氧气瓶连接正常且气体充足，拧开氮气源主阀，使减压阀的压力调节在0.4bar左右，打开气源开关；
（2）把需要清洁的材料放在搁板上，如果材料尺寸太小可以先放进托盘再放搁板上，关好舱门。
（3）在控制面板上按“ENTER”键进入调节，选择需要的进气口、功率和时间。
（4）选好后按“Start”开始。在近真空舱室中，射频电源在高压下使气体起辉，产生高能等离子体，轰击材料表面，达到清洁效果。5%氩气+95%氮气组合发出粉红色辉光。
（5）结束后等待外部气体充满舱室后方可打开舱门。如果气体没有充满舱室，不要强行开门。打开腔室，取出清洗好的样品；再次放置样品清洗。为了使每个样品得到充分清洗，一次放置样品数量不宜过多。
（6）待所有样品被清洗完成，关闭所有气源开关及主阀，将等离子清洗机舱门关闭。
等离子清洗机的操作注意事项如下：
注意事项：侵蚀性溶液、气体...
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