然而，pdms 亲水性待键合的PDMS衬底和硅衬底通常具有相应的微结构，在键合前需要一定的时间对齐结构图案。因此，如何使PDMS的活性表面保持延续时间可以延长，成为保证粘接质量的关键。氧等离子体处理后的PDMS表面通过引入亲水-OH基团代替亲水-CH基团表现出较强的亲水性。同样，由于硅衬底经过浓硫酸处理，表面含有大量的Si-O键。
低温等离子应用有:聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯乙烯(PS)、高冲击聚苯乙烯(HIPS)、ABS、PC、EPDM、聚酯(PET、APET)、聚氨酯(PUL)、聚甲醛、聚四氟乙烯、乙烯基、尼龙、(硅)橡胶、玻璃、有机玻璃、陶瓷等许多高表面预处理用于印刷、涂层和分子材料的粘合。
钢是固态发动机燃烧室壳体的主要材料，取代PDMS的亲水性材料一般经过喷砂、溶剂清洗等处理后，再粘贴绝热层，对燃烧室壳体起到保温、防热作用，防止高温高压气体降低壳体强度，危及壳体结构完整性，保证发动机可靠运行。EPDM橡胶具有密度低、耐候性好、耐老化性好、绝热耐蚀性高等优点，广泛应用于航空航天等领域，尤其是固体火箭发动机燃烧室的绝热层。三元乙丙橡胶作为固体发动机中的一种绝热材料，目前国内研究取得了较大进展。
在晶圆制造工艺中，取代PDMS的亲水性材料等离子体刻蚀是十分重要的一步，也是微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中的一个重要环节，一般在涂覆和光刻显影后，等离子体表面处理器等离子体经过物理溅射和化学处理，使我们不需要的金属被去除，而在这个过程中，光刻胶就是反应的保护膜，其目的是形成与光刻胶图形相同的线形。目前主流的干式刻蚀技术是等离子体表面处理器的刻蚀工艺，由于其刻蚀率高、定向性好，逐渐取代了传统的湿式刻蚀。
pdms 亲水性