1、含氯聚酯树脂附着力（含氯聚酯树脂附着力好吗） 去除聚合物需要氧基或氮基等离子体，含氯聚酯树脂附着力好吗介质层需要CF4/SF6等含氟等离子体，钛、钽、铝、钨等金属层需要含氯元素的蚀刻气体，如氯化硼、氯气等。等离子体边缘蚀刻可以改善许多与边缘沉积有关的缺陷。当然，从工艺集成的角度来看，边缘蚀刻对后续工艺的影响也需要考虑和综合评价。。等离子体蚀刻机...
2、树脂附着力差（含氯聚酯树脂附着力差的原因） 示例：Ar+e→Ar++2E-Ar++污染→挥发性污染Ar+在自偏压或施加偏压的作用下加速产生动能，树脂附着力差然后轰击放置在负极上的清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出物或微粒污染物，同时进行表面能活化。物理化学清洗：物理反应和化学反应在表面反应中起着重要作用。氧化层和水合物层在界面老化...
3、亲水性二氧化硅 含氯（亲水性二氧化硅的指标） INCL2和INCL的副产物较多，亲水性二氧化硅 含氯出口附近氯气较多，所以上面主要是化学蚀刻，下面主要是化学蚀刻。含氯等离子蚀刻清洁剂的等离子和副产品含量低，主要基于物理蚀刻。因此，形成了各种形状。现有的等离子蚀刻和清洗机能够控制离解速率并过滤掉不需要的等离子，因此先进的蚀刻机配置可以让您准确定义...
