处理方法：用蘸有酒精或丙酮的干净布（纸）清洁玻璃，咸阳氧等离子体清洗机或直接更换真空玻璃。 3、真空泵使用的油是一种特殊的抗氧化油。及时更换有助于真空泵正常运行，延长泵体寿命。我们建议您每 3 个月更换一次。如果真空泵内油量充足，观察油位的警示表指示的油位低于使用下限（油位表旁边有明显标记） 注入新油时间到正常的油耗。三、更换真空泵油的具体步骤： 1.打开真空泵注油口的注油塞（六角扳手）。
1、真空室和真空系统固定在柜体框架上。机柜框架尺寸为1722X1060X1840。左右有可移动的门，氧等离子体处理硅片背面有两个相对的门。因此，内部维护真空室和真空系统非常重要。方便的。真空室尺寸为600X600X600，可同时加工9层550X550尺寸的工件。真空室和真空阀固定在框架上。
此外，氧等离子体处理硅片如果必须保持氧气的流动，真空度越高，氧气的相对比例就越高，产生的活性粒子浓度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的浓度反而会降低。四、氧气流量的调节：氧气流量大，活性粒子密度大，脱胶速度加快，但流量过大，离子复合概率增加，电子平均自由程增加。运动会更短，电离强度也会降低。
当样品放入反应室时，咸阳氧等离子体清洗机真空泵启动真空泵到一定程度，接通电源产生等离子体，气体通过反应室内的等离子体进入反应室，样品并且易挥发 产生的副产品。它由真空泵提取。 1. 等离子体在宏观上是电荷平衡的。通常，等离子体是电荷平衡的，但如果受到影响，等离子体内会发生局部电荷分离，从而产生电场。
氧等离子体处理硅片
