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3、高压等离子体刻蚀(高压等离子氢化四氯化硅制备多晶硅) 问题 3:人们为什么要研究激光-等离子体相互作用?目前,高压等离子体刻蚀研究激光-等离子体相互作用的主要动力是激光和等离子体的惯性约束聚变。我们的化石能源有一天会耗尽吗?能源短缺,新能源技术研究迫在眉睫。惯性约束聚变的原理是利用激光将等离子体限制在高温、高压、高密度的狭小空间内,等离子体中的原子核相...