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在电感耦合等离子体光源中

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等离子体是什么物质

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由于等离子体所处的特殊环境,等离子体是什么物质等离子体在军事、航空等领域具有良好的表面洁净度和表面能量,因此等离子体表面处理技术成为必然。如果您对等离子表面处理设备感兴趣或者想了解更多详情,请点击在线客服咨询,或者等待您的电话!。等离子体清洗技术也广泛应用于光学制造业、机械和航空航天工业以及聚合物制造业,是产品升级的关键技术。等离子体物理、等离子体化学和气固界面化学反应是新兴的研究领域。

主要过程包括:首先需要干净的工件进入真空室固定,启动真空泵和其他设备开始大约10 pa真空度的真空排气;然后介绍等离子体清洗气体进入真空室(根据不同的清洗材料,气体是不同的,如氧、氢、氩、氮、等),在真空室中,在电感耦合等离子体光源中,一旦icp在电极与接地装置之间施加高频电压,将气体击穿并通过辉光放电使其电离,产生等离子体。待真空室中产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后,开始清洗操作,清洗过程从几十秒到几分钟不等。

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