放电间隙窄，电晕机用几根电极加工要求高；难点二：高性能DBD器件对介质层材料的介电常数要求很高；难点三：宏观均匀电场的微观强化；难点四：电极材料和密封材料的抗氧化性；难点五：大气压平板电晕堆阵列激励技术。。低级烷烃在常压低温电晕中的转化反应；低碳烷烃(C1～C4)是丰富的烃类资源，广泛存在于天然气、油田气、煤层气和催化裂化气中。
1-4多层电极电晕容量相对较高，电晕机用几根电极每个支架上可根据需要放置多片晶圆，更适合去除半导体分立器件和电力电子元件专用的4英寸和6英寸晶圆的光刻底膜。
真空电晕通过两个电极形成电磁场，电晕机用几根电极用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子之间或自由运动的距离越来越长，在磁场的作用下，碰撞形成电晕，同时会产生辉光，电晕在电磁场空间内运动，并轰击被处理物体的表面，以去除表面油污和表面氧化物、灰表面有机物等化学物质，从而达到表面处理、清洁和蚀刻的效果。通过电晕处理工艺可以实现选择性表面改性。
电晕是物质存在的一种状态，电晕机用几根电极又称第四态（通常物质为固体、液体和气体），是利用高压电源在一定压力下向气体添加足够的能量而产生的。在清洁状态下，有以下物质：高速运动的电子，活性状态的中性原子、分子、原子团（自由基），电离的原子、分子、未反应的分子、原子等，但物质整体保持电中性。清洗性能主要与电晕激发速率有关。目前国际上常用的激发速率为40千赫、13.56MHz和20MHz。
塑美牌电晕机用高压变压器
