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外延片等离子清洗仪

作为专业级的等离子清洗机制造商和服务商,外延片等离子体清洁机金伯利通常首先评估设备的质量和可靠性以及是否能满足客户的加工要求,关注:电极结构、真空泵、等离子发生器、等离子部件的密封等. (一)控制系统:控制系统:触摸屏+PLC (B)激励电源系统:电源:13.56MHz射频泵浦电源(C) 真空室:铝合金室(D) 工艺气体系统:工艺气体:氩氢混合物(E)真空泵:油泵主要采用两级旋片油泵。

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根据不同类型,如直盒、锁底盒等。 , 或双面纸箱。可配置不同数量的喷枪进行加工。 1.

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