当油浑浊(油色变为灰褐色或油位窗不清)，孕妇可用亲水性人工辅料真空泵噪音异常时，及时更换真空油。清洗反应室:先用脱脂棉布蘸无水乙醇(俗称酒精)擦拭真空室(不要用乙醇擦拭反应室观察玻璃)。其次，将气体(氩气+氧气或氮气+氧气)引入腔内，与等离子体反应去除腔内残留物质。处理时间应在10分钟左右，至少每月一次。检查输气管道的完整性和真空密封:定期检查真空系统的完整性。在此检查之后，应该对反应室进行彻底的清洗，以避免反应室中缺少污染物。
当油位接近最低红线刻度时，孕妇可用亲水性人工辅料将其添加到油红线与顶线和底线之间的某处。油色，正常油是干净透明的，油看起来浑浊（当油变成灰褐色或油位窗模糊时），真空泵噪音异常，如果没有，及时更换真空油。 2.清洁反应室首先，用脱脂棉布用无水乙醇（俗称酒精）擦拭真空室（不要用乙醇擦拭反应室的观察玻璃）。然后引入空腔（氩+氧）或（氮+氧），并通过等离子体去除空腔中的残留物。每月至少工作一次，每次 10 分钟。
但出现这种情况须要维护的过程：拆卸维护后，亲水性人工晶体浑浊对带回的真空泵进行性能测试。拆卸后发现真空泵腔内有大量杂质沉积，真空泵油浑浊，粘度高。各级旋片磨损程度不同，止回阀损坏，旁通阀断裂。一、等离子表面处理器问题具体说明如下1.真空泵油浑浊，粘度高，主要与室内大量杂质沉积和真空泵油拆换周期长有关。真空泵室释放的真空泵油和添加的新油。
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