惰性气体等离子体的影响可以改变化合物的表面结构。等离子体中含有电子、离子和自由基等活性粒子。等离子体表面重整包括物理和化学重整。事物物理改性是电子和离子对聚合物表面的影响，对聚酯薄膜有附着力的树脂使聚合物链中的化学键断裂，引起分解反应，并将形成的分解产物沉积在聚合物表面。化学改性是通过自由基在聚合物表面的化学反应引入官能团，从而改变表面的化学成分。物理和化学改性都会改变表面性质。
若材料本身不含氧，聚酯薄膜 附着力用懒惰等离子体处理后，新生自由基(半衰期可达2~3天)及空气中的氧效应也能导致氧与大分子链的结合，因此惰性气体等离子体处理含氧聚合物时，会出现交联刻蚀，引入极性基团三方竞争反应，对不含氧聚合物资料，只是处理后与空气中的氧效应，便引入含氧基团。等离子发生器电源等离子体表面处理是指等离子体表面处理过程中，非聚合性气体对聚合物材料表面效应产生的物理和化学过程。
2）聚合物表面复合：等离子表面处理机溶解常用的稀有气体，对聚酯薄膜有附着力的树脂破坏聚合物表面的化学键，在聚合物表面产生自由基。聚合物表面的自由基可以再生键，形成原来的聚合物结构，与同一聚合物链上相邻的自由基形成键，或与不同聚合物链上相邻的自由基形成键。自由基基团形成链。 ，可提高表面硬度和耐化学性。 3）等离子表面处理机对聚合物表面进行改性后，等离子表面处理机熔化并破坏聚合物表面的化学键，使聚合物表面产生自由基。
在半导体封装中，聚酯薄膜 附着力等离子清洗技术也越来越多地用于倒装填料前基板填料区域的活化清洗、键合前键合焊盘的去污清洗、塑封包封前基板表面的活化清洗等。根据等离子体产生的...
