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均匀的大气压等离子体和Stremer或Arc的产生阻碍了对基材没有损伤的表面清洗过程,小型超声波清洗机频率这是大气压等离子体的问题所在。此外,与原大气等离子体技术相比,多组分电极更容易膨胀,可应用于从第一代小型基片到第十代3000mm大型放大基片。

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