3. 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，工件边缘附着力使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4. 清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。。
它的主要原理步骤是：首先将需要清洗的工件送入真空室固定，工件边缘附着力启动真空泵等装置，开始抽真空，排出真空至约10Pa真空度；然后将等离子清洗用的气体引入真空室(根据清洗材料不同，选择不同的气体，如氧、氢、氩、氮等)，并将压力保持在 Pa左右；在真空室内的电极和接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电使气体离子化，产生plasma等离子体；在真空室内产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后，开始清洗工作，清洗过程持续几十秒至几分钟。
此外，工件边缘附着力当自由基与工件表面分子结合时，会释放出大量的键能，为表面反应创造新的驱动力，消除（去除）表面之间的化学反应。工件材料。二、电子和工作面对低温等离子清洗的影响当电子与工作面碰撞时，吸附在工作面上的气体分子分解解吸，引起大量碰撞。电子的数量有利于化学反应。由于其质量小，电子的移动速度比离子快得多。在等离子处理过程中，电子比离子更快地到达工件表面，从而使表面带负电。这有助于引发进一步的反应。
等离子清洗机所用的气体大致上可以分为两种，工件边缘附着力一种是通过物理溅射来对材料表面进行清洗，另一种是靠化学反应来对材料表面进行清洗。物理性气体等离子清洗在真空状态下，高频电源的高压交变电场将氩气等惰性气体电离成高能量的等离子气体...
