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（活）化原子态氧能迅速将聚酰亚胺膜氧化成挥发性气体，常州大气等离子清洗机供应商由机械泵抽走，从而去除硅块上的聚酰亚胺膜。电浆去胶的优点是去胶操作简单，去胶效率高，表层清洁，无划痕，成本低，环保。 等离子去胶机通常选用电容耦合等离子体平行面板反应釜。在平行面电极反应釜中，反应离子腐蚀腔选用阴极面积小、阳极面积大的不对称设计，腐蚀性物质被放置在面积小的电极上。
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