（2）物理反应（Physical reaction）主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击，附着力的含义把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉，由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，有得能量的累积，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越是有的作撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较的压力下来进行反应，这样清洗效果较好，为了进一步说明各种设备清洗的效果。
2、物理反应清洗：附着在材料表面的原子与等离子体中的离子进行纯物理碰撞而分解。这也称为溅射腐蚀 (SPE)。用氩气清洁时，开炼机增加表面附着力的方法氩离子有足够的能量以足够的力撞击材料表面以去除污垢。聚合物内的聚合物化学键被分离成小分子，这些小分子被蒸发并通过真空泵排出。在氩等离子清洗的同时，可以改变材料表面的微观形貌，使材料处于更“粗”的状态。氩等离子体的优点是材料表面不会残留氧化物。
电浆清洗机主要依靠等离子体中的电子、离子、激发态原子、自由基等活性离子，开炼机增加表面附着力的方法使金属表面有机污染物的大分子逐步分解，最终产生稳定、易挥发的、简单的小分子，最终将粘附在表面的污物彻底脱离。金属表面的附着力和表面润湿性能在很大程度上改善等离子体清洗后的表面润湿性，而这些性能的提高对金属材料的进一步表面处理具有重要意义。
(4)冲洗真空等离子设备后，附着力的含义切断高频率电压，排出气体和汽化污垢，同时向真空室内鼓入空气，将气压升至大气压；传统湿法工艺相比，真空等离子设备具有以下八个优点:(1)真空等离子设备清洗后，被冲洗的物体已很干燥，无需干燥处理即可送到下一道工序；(2)不使用三氯乙烯ODS有危害的溶剂，真空等离子体设备清洗后不发生有危害的杂物，是生态环保的绿色冲洗方法(3)在电磁波范畴内高频率发生的等离子体不同于激光等直射光，指向性不强，可以深入到物体的微孔和凹陷内，完成冲洗任务，无需考虑被冲洗物体形状的影响，这些难以冲洗的部位...