当今真空等离子设备中常用的气动调节加工部件，真空等离子体处理引入基团按其结构特点可分为复合型和集成型。等离子体处理工艺可以提供更具反应性的降解路径。在等离子体技术中，气体发射的分解在高能电子中起着决定性的作用。数以万计的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化为分子（原子）几乎内能，进一步产生激发、电离、电离等环节，产生气体。积极的。
它利用等离子体的高能量和不稳定性对被处理材料的表面进行清洁、活化和活化，上海小型真空等离子表面处理机定制从而改变表面的微观结构、化学性质和能量。...等离子体与物体表面的相互作用可分为物理相互作用（离子撞击）和化学相互作用。其物理化学反应机理是活性粒子与被清洗表面碰撞，污染物从表面分离出来，由真空泵吸出。化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成它们。挥发物，然后是挥发物，被真空泵吸出。
本文通过对在线等离子清洗设备真空腔室的研究与设计，上海小型真空等离子表面处理机定制有效防止物料运输过程中的卡损，实现在线等离子清洗设备全线配套，满足IC封装制造工艺的量产要求。可以满足。大大提高了封装的可靠性。在集成电路制造技术推广过程中，在线等离子清洗设备40%的成本用于封装。因此，集成电路封装已成为全球独立的封测产业。集成电路制造是集成电路产业的第三部分，是高性能电子系统发展的重要环节和制约因素。
