这些位于壁面表面的空间正电荷层，表面张力大于附着力又称鞘层，其空间尺度一般小于1cm。鞘层的形成是由于电子和离子迁移率的不同。等离子体中的电位分布倾向于束缚电子并将正离子推入鞘层。由于电子首先吸收进入电源的能量，然后它们被加热到数万度，而重粒子几乎是室温。正是由于低压等离子体的非热力学平衡特性，使其在工业上有了重要的应用。
也可以对材料的整体、部分或复杂结构进行选择性清洗。(6)在完成清洗去污后，表面张力大于附着力还可以改变材料本身的表面性能。(7)自动化程度高;高精度的控制装置，高精度的时间控制;正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证。由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不受二次污染。等离子体清洗机理由于等离子体中电子、离子和自由基等活性粒子的存在，很容易与固体表面发生反应。
在清洗过程中，表面张力大于附着力表面的污染物分子很容易与高能的自由基相结合而产生新的自由基，这些新的自由基也居于高能状态，极不稳定，很容易自身分解而转变为较小的分子，同时生成新的自由基，这种过程将持续不断的进行下去，直致被分解成稳定的易挥发的简单小分子，使污染物脱离金属表面，在此过程中，自由基的主要作用表现在(活)化作用过程中的能量传递，在自由基与表面污物分子相结合的过程中，会有大量的结合能释放出来，被释放出的能量作为推进表面污物分子发生新的活(化)反应的动力，有利于污染物在等离子体的活(化)作用下更彻底地被(清)除掉。
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表面张力大于附着力
